·系統(tǒng)精度為± 0.7″(光柵直徑為413mm)
·角度分辨率為0.01″
·多種直徑和刻線數(shù),與一系列的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的控制器兼容(直徑從52 m m 到413 m m,刻線數(shù)從4,096 到64,800 )
·高速、非接觸的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)
·零反向間隙
·具有專利的錐度基面安裝方式, 使安裝簡(jiǎn)單、誤差最小
·與高真空兼容
·外型小巧,易于集成
·低質(zhì)量、低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量超低轉(zhuǎn)動(dòng)慣量的圓光柵可選
·角度分辨率為0.01″
·多種直徑和刻線數(shù),與一系列的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的控制器兼容(直徑從52 m m 到413 m m,刻線數(shù)從4,096 到64,800 )
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·零反向間隙
·具有專利的錐度基面安裝方式, 使安裝簡(jiǎn)單、誤差最小
·與高真空兼容
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