KEYENCE基恩士推出VK-X100/X200系列形狀測量激光顯微系統(tǒng)。
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激光掃描顯微系統(tǒng)可以解決所有的課題 |
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使用激光顯微系統(tǒng)則可全部簡單地實(shí)現(xiàn) |
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全方位性質(zhì)的清晰觀察 |
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從光學(xué)觀察到類似于彩色 SEM 的高分辨率觀察 |
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| 關(guān)于本產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容，請使用右上方的圖標(biāo)下載目錄后確認(rèn)。 | |
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16 bit 激光彩色觀察 |
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| 在大氣中以全方位性質(zhì)的分辨率實(shí)現(xiàn)全焦觀察。 |
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| 16 bit 激光彩色觀察 |
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在大氣中以全方位性質(zhì)的分辨率實(shí)現(xiàn)全焦觀察。 |
| 通過短波長激光全面掃描，能夠以光學(xué)顯微鏡無法實(shí)現(xiàn)的分辨率，按 200 至 24000 倍率* 實(shí)現(xiàn)全焦觀察。 * VK-X200 系列時(shí) |
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以類似于 SEM 的分辨率實(shí)現(xiàn)真彩觀察。 |
| 對于由激光獲取到的各像素均已正確對焦的高度的色彩信息，由 CCD 相機(jī)按每 １ 像素分別提取，再轉(zhuǎn)換成激光高分辨率圖像。 |
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可運(yùn)行所有表面形狀測量 |
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對于拍攝到的圖像可自由測量 |
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| 關(guān)于本產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容，請使用右上方的圖標(biāo)下載目錄后確認(rèn)。 | |
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“想測量高低差· 形狀實(shí)現(xiàn)數(shù)值化” |
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| [剖面 ３D 測量] 高度· 寬度· 角度截面積測量 |
| 對測量屏幕上任意指定的直線或曲線的橫截面輪廓，都可進(jìn)行“高度”、“寬度”、“橫截面”、“角度”、“R 值”等測量。 |
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| 表面積· 體積測量 |
| 測量屏幕上任何指定區(qū)域的“體積”、“表面積”、“ 面積∶表面積之比”。 |
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“想要將表面狀態(tài)的差異實(shí)現(xiàn)數(shù)值化” |
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| [可以精確測量線粗糙度和面粗糙度] 線粗糙度測量 |
| 可以一邊觀察2D 或3D 圖像，一邊避開頂點(diǎn)或異物，測量目標(biāo)部位的粗糙度。 |
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| 面粗糙度測量 |
| 從視覺上來講存在差異，那么差異究竟有多大呢? 可以測量面的粗糙度，通過數(shù)值確認(rèn)平均化后的差異。 （例）功能性薄膜的暗紋（3000 倍） |
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透明薄膜測量內(nèi)置“獨(dú)特的算法” |
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| 不僅實(shí)現(xiàn)膜厚測量﹐還可獲取最表面和背面的形狀。 |
| 可對觀察視野整個(gè)區(qū)域執(zhí)行多層分析?？蓪σ堰x的各層或多層進(jìn)行 3D 圖像顯示、橫截面輪廓顯示，可測量任意位置的形狀、薄膜厚度。 |
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“想要一次性自動(dòng)拍攝· 測量多個(gè)樣本” |
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| [自動(dòng)測量具備規(guī)則圖形的工件] 自動(dòng)寬度· 高度測量 |
| 對于具備規(guī)則圖形的工件的寬度· 高度，按照設(shè)置條件自動(dòng)測量。由于是自動(dòng)測量，因此不會(huì)生成人員造成的誤差，可以在短時(shí)間內(nèi)完成測量。 |
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全自動(dòng)測量 |
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誰都可以實(shí)現(xiàn)和熟練人員一樣的測量 |
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| 關(guān)于本產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容，請使用右上方的圖標(biāo)下載目錄后確認(rèn)。 | |
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| 通過融入長年專有經(jīng)驗(yàn)的 AI-Scan，僅需按下“ 測量開始”按鈕，便能得到符合樣本的最佳設(shè)置，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量。 |
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[世界首創(chuàng)] AI-Scan 3 個(gè)功能 |
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| 單擊測量開始按鈕便可實(shí)現(xiàn) |
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| 1. AAG 功能 |
| 對受光組件的激光受光靈敏度運(yùn)行 ２ 項(xiàng)最佳調(diào)整。對于有斜度的樣本或混合存在明暗的樣本也可正確測量。 * AAG=Advanced Auto Gain |
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| 2. 自動(dòng)上下限設(shè)置 |
| 對于樣本的上下限在整個(gè)畫面區(qū)域?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)識別和設(shè)置，在上下限范圍之內(nèi)運(yùn)行掃描和測量。 |
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| 3. 雙掃描功能 |
| 識別到未有效拍攝的部分時(shí)，會(huì)自動(dòng)改變設(shè)置，運(yùn)行二次拍攝，獲取正確的數(shù)據(jù)。 |
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廣視野的測量 |
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通過 WIDE-Scan 簡單 · 高速地實(shí)現(xiàn)廣視野的測量 |
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| 關(guān)于本產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容，請使用右上方的圖標(biāo)下載目錄后確認(rèn)。 | |
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課題 1 |
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| 視野狹窄的話，無法明確正在觀察哪個(gè)部位。還想觀察周圍。 |
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課題 2 |
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| 關(guān)于局部性的測量，會(huì)因拍攝部位不同而使數(shù)據(jù)生成偏差。 | |
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新聞來源： http://china.keyence.com/GKVKX01
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