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成功案例 |首臺(tái)15天交付!格創(chuàng)東智Stocker助力頭部12吋晶圓廠自動(dòng)化物料存儲(chǔ)

成功案例 |首臺(tái)15天交付!格創(chuàng)東智Stocker助力頭部12吋晶圓廠自動(dòng)化物料存儲(chǔ)

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國內(nèi)頭部半導(dǎo)體存儲(chǔ)器制造商,專業(yè)從事集成電路內(nèi)存芯片的設(shè)計(jì)、研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,目前12英寸晶圓廠已建成投產(chǎn)。其在國內(nèi)外擁有多個(gè)研發(fā)中心和分支機(jī)構(gòu),已推出多款不同類型的內(nèi)存芯片,滿足多種應(yīng)用需求。

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隨著市場行情的回暖和外部需求的增長,公司產(chǎn)能逐漸提升,現(xiàn)有Stocker晶圓存儲(chǔ)立庫(以下簡稱Stocker)的存儲(chǔ)量無法滿足需求,急需擴(kuò)充FOUP的存儲(chǔ)。

同時(shí)由于客戶工藝流程復(fù)雜、生產(chǎn)過程離散,會(huì)使得某些機(jī)臺(tái)在某一段時(shí)間內(nèi),積累的晶圓比較多,如果是依賴人力搬運(yùn),難免出現(xiàn)調(diào)度、轉(zhuǎn)運(yùn)不及時(shí)的情況,從而造成瓶頸機(jī)臺(tái)的擁塞以及部分機(jī)臺(tái)運(yùn)行不飽和。

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眾所周知,從早期的6英寸晶圓廠,到如今的8英寸、12英寸廠成為主流,半導(dǎo)體制造工藝越來越先進(jìn),產(chǎn)線中的工序成倍增長,關(guān)鍵機(jī)臺(tái)的吞吐量也在一代代的更迭中迅速增加,傳統(tǒng)人力在產(chǎn)線設(shè)備間的物料搬運(yùn),成為制約生產(chǎn)效率和生產(chǎn)質(zhì)量的瓶頸。也因此,AMHS從8英寸廠開始顯露頭角,在12英寸廠中成為標(biāo)配。

AMHS主要由OHT空中搬運(yùn)小車、Stocker晶圓存儲(chǔ)立庫、MCS/OHTC/STKC軟件系統(tǒng)等組成。其中Stocker作為AMHS的重要構(gòu)成,用于潔凈室內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)工序及工序之間晶圓載具的存儲(chǔ),可與上位系統(tǒng)進(jìn)行通訊,實(shí)現(xiàn)帳料自動(dòng)管理。為客戶生產(chǎn)現(xiàn)場減少物料搬運(yùn)擁堵情況,降低傳送周期,管理復(fù)雜的批次操作,實(shí)現(xiàn)物料高效搬運(yùn)。同時(shí)確保機(jī)臺(tái)排產(chǎn)充足,為工廠實(shí)現(xiàn)Fully Auto提供重要支持。

根據(jù)無塵室可利用空間,格創(chuàng)東智靈活定制各類型Stocker,實(shí)現(xiàn)空間最大化。

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Stocker設(shè)備打包完畢、發(fā)往客戶工廠

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通過導(dǎo)入格創(chuàng)東智Stocker,自動(dòng)化存儲(chǔ)、提取和傳送各種規(guī)格的晶圓料盒,該頭部12吋晶圓廠實(shí)現(xiàn)了高效自動(dòng)化物料存儲(chǔ)擴(kuò)產(chǎn)的需求。

1、自動(dòng)物料搬運(yùn)存儲(chǔ)

Stocker專為潔凈車間設(shè)計(jì),與OHT等自動(dòng)化設(shè)備的協(xié)同作業(yè)構(gòu)建起高效的自動(dòng)物料搬運(yùn)存儲(chǔ)系統(tǒng)AMHS,根據(jù)生產(chǎn)計(jì)劃和需求來優(yōu)化物料流動(dòng)。

2、降低人力&提高效率

作為無塵車間內(nèi)的臨時(shí)存儲(chǔ)庫,Stocker可平衡設(shè)備及工藝間產(chǎn)能的差異,最大程度縮短晶圓在工藝設(shè)備間的流轉(zhuǎn)時(shí)間,提高設(shè)備利用率;Stocker控制系統(tǒng)可自動(dòng)向MCS系統(tǒng)更新對應(yīng)物料的位置信息,實(shí)現(xiàn)物料的統(tǒng)一管理,提高工作效率的同時(shí)減少人員工作強(qiáng)度。

3、提高產(chǎn)品質(zhì)量

Stocker內(nèi)部可達(dá)到較高的潔凈度,能夠滿足物料存儲(chǔ)對潔凈度的要求,同時(shí)庫存和物料流動(dòng)的實(shí)時(shí)追蹤有助于快速定位和解決潛在問題,進(jìn)而提升產(chǎn)品質(zhì)量、實(shí)現(xiàn)制造過程的可追溯性。

4、提高空間利用率

Stocker能夠充分利用潔凈車間的閑置面積及垂直空間,在相同占地面積中提高倉儲(chǔ)容量,從而提高空間利用率。

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與常規(guī)交付相比,此次項(xiàng)目的工期非常緊,格創(chuàng)東智臨危受命,緊急協(xié)調(diào)各種資源,組建專業(yè)項(xiàng)目團(tuán)隊(duì),與客戶緊密溝通,快速實(shí)現(xiàn)Stocker的調(diào)試/交付(第一臺(tái)Stocker從客戶PO下發(fā)到現(xiàn)場交付僅僅15天,這個(gè)效率在業(yè)界是絕無僅有的),非常及時(shí)、高效地支撐了客戶產(chǎn)能的提升,并取得了客戶的高度認(rèn)可。

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王靜
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