PULS普爾世電源在光刻機(jī)中的應(yīng)用
關(guān)鍵字:PULS普爾世 導(dǎo)軌式電源 光刻機(jī)
引言:在電子行業(yè)高速發(fā)展的今天,工業(yè)設(shè)備的精密度不斷得到提高,與此同時(shí)最終用戶對(duì)產(chǎn)品本身的性能也提到了新的高度,這就給設(shè)備廠家在元器件選擇方面提出了更高的要求。作為DIN導(dǎo)軌式電源的標(biāo)準(zhǔn)制定者,PULS普爾世電源以其簡(jiǎn)約、強(qiáng)勁、高效、穩(wěn)健的優(yōu)異性能,越來(lái)越得到各個(gè)設(shè)備廠家的青睞!
一、光刻機(jī)設(shè)備介紹
激光標(biāo)刻機(jī)的核心部件是YLM系列單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊,主要為免維護(hù)的OEM應(yīng)用面設(shè)計(jì)。YLM二極管泵浦光纖激光通過(guò)一條帶有金屬護(hù)套的單模光纖傳導(dǎo)光束直徑為1.07微米,接近衍射極限(M2<1.05)高質(zhì)量激光束,高可靠性的直流電源在SCAPS公司專用控制卡的控制下驅(qū)動(dòng)單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊、單模連續(xù)波段摻鐿光纖激光模塊發(fā)出的970±10nm的激光被耦合到加金屬護(hù)套的5mm傳輸光纖中使摻鐿雙包層光纖中產(chǎn)生1.06微米波長(zhǎng)的激光,激光在傳輸過(guò)程中不斷被放大后擴(kuò)束輸出。擴(kuò)束后的激光束投射到振鏡掃描器上,通過(guò)計(jì)算機(jī)控制振鏡快速轉(zhuǎn)動(dòng)及激光的開(kāi)關(guān),使激光束在X、Y方向掃描,通過(guò)F-θ透鏡聚集形成幾微米直徑的光斑作用于加工工件上,使之表面瞬間燒蝕,最后在件表面形成需要的各種圖形符號(hào)。
1、整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小,與進(jìn)口貼片分選設(shè)備充分兼容,接口直接配合、簡(jiǎn)單易用。
2、基礎(chǔ)配置,采用進(jìn)口Fiber(光纖)小功率風(fēng)冷激光器,高速振鏡掃描系統(tǒng),打印準(zhǔn)確精致。
3、激光打印系統(tǒng)控制核心,Laser Marking System購(gòu)筑在Windows XP平臺(tái)上,控制軟件采用SCAPS軟件,控制卡采用高速USB2.0控制輸入,性能卓越穩(wěn)定,使用操作簡(jiǎn)便,并可根據(jù)客戶的需求,隨時(shí)升級(jí)程序。
4、根據(jù)客戶需求,可實(shí)現(xiàn)脫機(jī)運(yùn)行操控,一臺(tái)電腦主機(jī)操作多臺(tái)激光打印終端,標(biāo)刻終端由PDA操控。
5、國(guó)內(nèi)首創(chuàng),更小巧,更靈活。
6、直接編輯印章和同時(shí)打印多種規(guī)格印章,自動(dòng)記數(shù)功能,隨意設(shè)置標(biāo)刻數(shù)量及統(tǒng)計(jì)所標(biāo)記管子總數(shù),設(shè)置數(shù)值高達(dá)十億位數(shù)。
二、PULS普爾世電源在光刻機(jī)上成功應(yīng)用
1、電壓要求
光刻設(shè)備工作電壓為直流28V,PULS普爾世電源輸出電壓范圍為24-28V,完全符合使用要求。
2、使用方式要求
需要有正負(fù)28V電源輸出,第一個(gè)電源正端與第二個(gè)電源的負(fù)端共地使用,而且兩個(gè)輸出相互之間不能互擾。
3、電源體積要求
由于設(shè)備整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小的要求,所以要求電源等各種元器件能夠盡量的小巧,不占用更多的空間。該廠家選用PULS普爾世電源ML60.242,尺寸為:45x75x91mm,安裝占用空間非常小,得到設(shè)備廠家和最終用戶的一致認(rèn)可。
圖:PULS普爾世電源ML60.242
4、電源穩(wěn)定度要求
由于光刻機(jī)激光光束需要高可靠性的直流電源,所以在電源的穩(wěn)定性和紋波上要求非常嚴(yán)格。PULS普爾世電源直流輸出電壓殘余波< 50 mV,波峰切換(20MHz) (在正常值) < 50mVpp,體現(xiàn)了絕佳的輸出特性。另外,PULS普爾世電源ML60.242平均無(wú)故障時(shí)間MTBF高達(dá)186.6萬(wàn)小時(shí),工作溫度范圍更是達(dá)到-40℃至+70℃,極大的降低了維護(hù)成本。
5、電磁干擾
由于激光雕刻機(jī)是一個(gè)精密的設(shè)備,其電壓的好壞直接影響激光的穩(wěn)定程度,也就直接影響光刻效果,所以其電磁防護(hù)等級(jí)要求也非常高。不僅自己不能夠被外界電磁干擾,以免輸出電壓精度不高,同時(shí)自身也不能夠產(chǎn)生干擾,以免干擾其他設(shè)備的正常工作。PULS普爾世電源具有完備的EMC及防干擾認(rèn)證,很好的保證了現(xiàn)場(chǎng)使用的要求。如圖:
綜上所述,雖然光刻機(jī)設(shè)備對(duì)電源的使用提出了十分高的要求,但是PULS普爾世電源以優(yōu)越的性能很好的解決了實(shí)際過(guò)程中遇到的各種難題,把各種任務(wù)完成得非常的漂亮,由于完美的表現(xiàn)也贏得了客戶的一片贊譽(yù)!當(dāng)然,良好的表現(xiàn)源于良好的硬件功夫,PULS普爾世電源有此卓越的表現(xiàn),也是源于PULS普爾世電源有很多優(yōu)異的硬件指標(biāo)參數(shù)和特點(diǎn)。
四、結(jié)束語(yǔ)
國(guó)內(nèi)市場(chǎng)電子設(shè)備行業(yè)的飛速發(fā)展,以及技術(shù)不斷的洗舊革新,無(wú)非是要提高設(shè)備的效率與穩(wěn)定性,設(shè)備的穩(wěn)定性源于高可靠性的器件。而設(shè)備供電電源是設(shè)備非常重要的一個(gè)環(huán)節(jié),因而對(duì)電源的性能勢(shì)必提出了更高的要求。
相關(guān)鏈接:PULS普爾世電源選型表
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