清洗機廣泛應用在晶片處理的很多階段。清洗機分為單片清洗機和盒式清洗機。
FA-M3系統(tǒng)構成例：
控制要求：
不同的化學清洗濟需要不同的旋轉速度；即使相同的化學制劑在清洗和干燥階段，盤片的旋轉速度也不同。快速、平滑無停頓的速度控制是控制要點之一。
通常的PLC只有梯形加減速，在很短的時間內進行速度改變時，容易造成盤片的速度超調從而產生振動。而振動容易損壞脆弱的盤片。
精確、快速、柔和的機械定位。采用了PASS BY的方式進行位置控制。以達到柔和、快速的定位控制。
在盤片旋轉停止后，需要把速度控制更改為位置控制。因為盤片停止后需要保證盤片的方向。FA-M3可以很方便的進行速度、位置切換。
FA-M3適用模塊：
主控制器－－－－-F3SP28-3S/53-4S: 超高速CPU, 最小掃描200μs，
☆基本命令17.5ns,最小掃描200μs, 保證系統(tǒng)全體的快速響應.
☆搭載3處理器并行處理，通信及人機不再占用掃描時間。
高速RS232/以太網通信－－－－-F3RZ82/F3LE11-0T
☆115Kbps 串行通信和100Mbps 以太網通信。
各旋轉軸控制－－－－-F3NC32/F3NC34/F3NC96
☆高達5Mpps的高速脈沖輸出和10Mbps的通訊速度實現(xiàn)高速高精度控制。
☆Pattern經由/軌跡控制使運行曲線更順暢、平滑，同時提高生產效率。
☆由外部輸入直接啟動位控，不再占用CPU程序且響應時間小于0.72ms
☆Mechatrolink多軸通訊控制節(jié)省設備配線和維護工作。
☆使用專用軟件設定動作/測試/監(jiān)視。節(jié)省繁瑣的梯形圖編程，縮短調試周期
主控制器－－－－-F3SP28-3S/53-4S: 超高速CPU, 最小掃描200μs，
☆基本命令17.5ns,最小掃描200μs, 保證系統(tǒng)全體的快速響應.
☆搭載3處理器并行處理，通信及人機不再占用掃描時間。
高速RS232/以太網通信－－－－-F3RZ82/F3LE11-0T
☆115Kbps 串行通信和100Mbps 以太網通信。
各旋轉軸控制－－－－-F3NC32/F3NC34/F3NC96
☆高達5Mpps的高速脈沖輸出和10Mbps的通訊速度實現(xiàn)高速高精度控制。
☆Pattern經由/軌跡控制使運行曲線更順暢、平滑，同時提高生產效率。
☆由外部輸入直接啟動位控，不再占用CPU程序且響應時間小于0.72ms
☆Mechatrolink多軸通訊控制節(jié)省設備配線和維護工作。
☆使用專用軟件設定動作/測試/監(jiān)視。節(jié)省繁瑣的梯形圖編程，縮短調試周期
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