- 型號:PDP401
- 數(shù)量:6
- 制造商:廈門戎豐電氣設備有限公司
- 有效期:2024/12/21 0:00:00
隨著市場環(huán)境的優(yōu)化升級和國家政策的有利驅動,新能源汽車、智能駕駛、智能終端和5G等下游行業(yè)對集成電路的需求激增。而作為典型的高精尖產(chǎn)業(yè),集成電路的制造對生產(chǎn)環(huán)境和工藝的要求極為苛刻。其中,潔凈室的建設是集成電路制造中的關鍵環(huán)節(jié),對最終產(chǎn)品的性能具有至關重要的影響。
作為我國最早專業(yè)從事潔凈室機電設備安裝的工程公司之一,中國電子系統(tǒng)工程第四建設有限公司(以下簡稱“中電四公司”)可為集成電路制造企業(yè)提供設計、采購、項目管理、施工、設施管理、潔凈室配套產(chǎn)品制造等一體化“交鑰匙”工程服務。
2021年,在為北京集電控股有限公司(以下簡稱“北京集電”)建設集成電路車間潔凈室項目中,中電四公司為滿足客戶對環(huán)境監(jiān)測的高精度和高穩(wěn)定性要求,選擇與維薩拉合作,將工業(yè)用溫濕度變送器HMT330、本質安全型溫濕度變送器HMT370EX和溫濕度變送器HMT120等系列產(chǎn)品,成功應用于北京集電廠房潔凈室。自應用以來,相關儀表和變送器運行穩(wěn)定,測量準確。
纖毫必顯 打造高標準的潔凈車間
穿戴嚴密封閉的特制防護服和鞋套,經(jīng)過嚴格的車間消殺流程,再通過數(shù)道相互獨立隔離的車間閘門,操作員方能進入標準嚴苛的集成電路廠房潔凈室。不同于一般工業(yè)品,集成電路從單晶硅片制造到IC制造再到IC封裝的重要步驟,均需在潔凈室中完成。無論是微小的粉塵和碎屑,還是無形的環(huán)境溫度和濕度等,都將對制造過程產(chǎn)生重大影響。
“集成電路的制造對生產(chǎn)環(huán)境的要求非常高,需要對溫度、濕度等參數(shù)進行極為精確、穩(wěn)定的測量,從而確保生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定可靠?!敝须娝墓臼袌龉芾碇行目偨?jīng)理張琪表示,“2020年,早在北京集電潔凈室項目的投標階段,我們知道維薩拉的相關產(chǎn)品可完全滿足客戶對溫濕度測量的苛刻需求。于是,我們決定采用維薩拉產(chǎn)品作為測量儀表進行投標,由此也開啟了與維薩拉一系列的深度合作?!?/p>
隨著我國集成電路制造工藝的升級,其制造過程需要的潔凈程度也水漲船高,這對于潔凈室的建設提出了越來越高的要求。據(jù)介紹,北京集電所制造的集成電路工藝目前已突破28納米,對應的潔凈室環(huán)境溫度誤差為±0.3°C,濕度誤差為±3%。一旦溫度和濕度突破限定誤差,將顯著影響產(chǎn)品的良品率、使用性能和可靠性。
針對上述應用環(huán)境,維薩拉的多款產(chǎn)品如HMT330、HMT120和HMT370EX在其中扮演重要角色。其中,HMT330可在惡劣環(huán)境中和苛刻需求下實現(xiàn)精準測量,還可針對不同的應用環(huán)境實現(xiàn)定制,從而滿足多樣的客戶需求。HMT120則是一款專為潔凈室等環(huán)境打造的溫濕度變送器,智能測量探頭可現(xiàn)場更換,輕松實現(xiàn)測量的可追溯性。
值得一提的是具有“本質安全”功能的溫濕度變送器HMT370EX。即使在誤操作或發(fā)生故障的情況下,這款產(chǎn)品也不會造成事故或設備損壞。截至目前,該產(chǎn)品已獲得多項本質安全認證。除測量相對濕度和溫度外,HMT370EX還支持輸出其他濕度參數(shù),如露點溫度、濕球溫度、絕對濕度、混合比、水濃度、水質量分數(shù)、水汽壓和焓值。
“維薩拉產(chǎn)品的測量精度不僅完全滿足了潔凈室的設計標準,更大幅壓縮了標準誤差的范圍:將其降低至標桿誤差的三分之一,達到了濕度±1%、溫度±0.1°C,充分保障了潔凈室的可靠運行?!睆堢餮a充道,“出于項目整體精度和穩(wěn)定性的考慮,維薩拉的測量儀表成為我們這個項目的理想選擇?!?/p>
- 電話:13358378970
- 傳真: 0592-2231522
- email:3073759694@QQ.COM