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日本日機(NIKKI) 三自由度納米平臺

日本日機(NIKKI) 三自由度納米平臺

產(chǎn)品簡介:

日機伺服是日本第一家生產(chǎn)感應(yīng)伺服的廠商,在伺服生產(chǎn)和使用方面具有豐富的專業(yè)經(jīng)驗。其中日機公司生產(chǎn)的三自由度納米平臺在國際市場得到廣泛的好評。

產(chǎn)品分類:

運動控制 運動機械部件

品牌:

產(chǎn)品介紹

參數(shù):

平臺規(guī)格

單位

平臺外形尺寸

Wmm X Lmm X Hmm

788mm X 843mm X 210mm

Z軸規(guī)格

分解能:4,300,800pp

額定扭矩:9Nm

平臺重量

kg

161

單位

X

Y

有效行程

mm

300

300

光柵尺分節(jié)能

μm

0.1

0.1

使用直線電機類型

——

無鐵芯高推力型

無鐵芯扁平型

額定推力

N

200

90

精度

單位

X

Y

直線度A(垂直)

μm

3.2

1.4

直線度A(水平)

μm

1

1.3

重復(fù)定位精度

μm

+/-0.1

+/-0.1

直角度(對XY軸的Y軸的角度)

μm

1.8

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