產(chǎn)品特征:

      單軸上可以裝數(shù)個(gè)動(dòng)子；維護(hù)簡(jiǎn)單；無(wú)摩擦損耗，高移動(dòng)速度，高精度高定位性；耐久使用。

最大行程4m x 4m
以線性滑軌或空氣軸承架構(gòu)之定位平臺(tái)
良好接地設(shè)計(jì)防止雜訊干擾
Z向震動(dòng)可達(dá)奈米等級(jí)以下
最大速度可達(dá)5m/s
標(biāo)準(zhǔn)重現(xiàn)精度1um或以下
位置回饋系統(tǒng)解析度最低可達(dá)50nm

產(chǎn)品應(yīng)用:

半導(dǎo)體設(shè)備
自動(dòng)化搬送
FPD設(shè)備
太陽(yáng)能制造設(shè)備 
PCB設(shè)備
水刀設(shè)備
鉆石切割設(shè)備 
AOI檢測(cè)設(shè)備
工具機(jī)