來自Novacam的光學(xué) 3D 輪廓儀TM系統(tǒng)可用于非接觸式3D表面和厚度測量，即使在難以觸及的空間如鉆孔、管道等，也可進行非接觸式微米級精度3D測量，獲取尺寸、粗糙度、缺陷、振動或厚度數(shù)據(jù)。

光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)

系統(tǒng)組件

NOVACAMTM光學(xué)3D輪廓儀TM是一個模塊化系統(tǒng)，它的檢測能力由其組件共同決定。

主要包括以下組件：

1光學(xué)側(cè)視或前視探頭：有幾種標準尺寸和長度可選，也可以定制

2MICROCAM干涉儀：為光學(xué)探頭提供光源，并處理從探頭接收到的光信號

3運動控制系統(tǒng)

4PC、顯示器和操縱桿

光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)

特點和優(yōu)勢

NOVACAMTM光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)擁有基于光纖的探頭，易于與精密載物臺、第三方坐標測量機、數(shù)控機床或機器人集成，以支持大量的流水線工作。

系統(tǒng)優(yōu)勢：

可用于測量狹窄空間內(nèi)部、特殊形狀物體外形、平面光滑度以及邊緣線性度

對被測物體的表面反射度沒有要求(從鏡面到全黑都可測量)

高速測量，每秒高達100,000個3D點

能夠測量靜止及運動的物體，包括固體或液體、孔和管的內(nèi)部、圓柱體的外部等

光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)

應(yīng)用場景

Novacam光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)的探測器探頭基于光纖的特性，在光學(xué)計量行業(yè)中具有獨特優(yōu)勢，在航空航天、汽車、電力、國防、醫(yī)療儀器、電子等多個領(lǐng)域都有應(yīng)用。應(yīng)用場景包括尺寸測量、粗糙度測量、缺陷檢測（如裂紋、劃痕）、半透明材料的厚度測量等。

1尺寸測量

在XY載物臺上使用光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)采集的硅晶圓表面

2粗糙度

線性粗糙度參數(shù)，粗糙度顯示為高度和強度圖像

3厚度測量

可用于測量單層或多層、透明或半透明材料。圖為人工晶狀體的2D橫截面

4缺陷測量

噴氣發(fā)動機渦輪盤上樅樹型插槽的3D幾何形狀和缺陷

*以上產(chǎn)品及應(yīng)用圖片均來自Novacam