【應(yīng)用案例】

半導(dǎo)體行業(yè)EtherCAT總線驅(qū)控一體轉(zhuǎn)臺應(yīng)用

凱?？萍坚槍尉Ч杵圃烨逑垂に囂岢隽蓑?qū)動器+一體式旋轉(zhuǎn)平臺的方案。具有速度波動平穩(wěn)，體積尺寸小等特點。

作為半導(dǎo)體制造工藝中的重要一環(huán)，單晶硅硅片制造工藝尤為重要。多晶硅片經(jīng)過切片、倒角、研磨、表面處理、拋光、外延等不同工序加工后，表面已經(jīng)受到嚴(yán)重的玷污，因此有一個很重要的工藝段便是清洗，其目的就是為了去除硅片表面顆粒、金屬離子以及有機物等污染。

凱?？萍坚槍尉Ч杵圃烨逑垂に囂岢隽薙SDC集成式EtherCAT總線驅(qū)動器+YKW系列一體式轉(zhuǎn)臺的方案。具有尺寸更小，速度波動平穩(wěn)等特點。

工藝流程圖

案例展示

方案優(yōu)勢

驅(qū)控一體尺寸更小

速度更穩(wěn)