輪胎壓力傳感器敏感元件的設(shè)計與研制
2009/7/31 12:25:00
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美國的NHTSA已出臺的TREAD法規(guī)引起新一輪汽車壓力傳感器應用高潮和TPMS產(chǎn)品的開發(fā)熱潮。為了該產(chǎn)品的國產(chǎn)品種開發(fā)設(shè)計，我們研制出了一種輪胎壓力傳感器芯片，它是采用基于MEMS技術(shù)的硅體微機械加工技術(shù)制造的，采用硅—硅真空鍵合大大縮小單元尺寸，有利于降低成本。已
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