半導體生產(chǎn)中的設備通信與集成
半導體生產(chǎn)主要分為設計、制造、封測三大流程,在制造和封測兩個流程中需要用到大量的生產(chǎn)設備,包含刻蝕、沉積、清洗、電鍍、封裝、檢測,等等。目前我國半導體行業(yè)快速發(fā)展,生產(chǎn)設備也實現(xiàn)了大量的國產(chǎn)化,技術實現(xiàn)方式也在快速發(fā)展中。
在半導體生產(chǎn)制造中,生產(chǎn)過程的管理由MES、EAP等協(xié)同完成,生產(chǎn)管理系統(tǒng)對設備實時下發(fā)指令,根據(jù)工單、配方來控制工藝流程。與此同時,還要從設備中實時獲取各項設備參數(shù)、指標、狀態(tài)等數(shù)據(jù),獲取設備發(fā)生的各類報警信息以及生產(chǎn)過程中的統(tǒng)計數(shù)據(jù)等,以便最終對這些上傳的數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析,形成批報,指導生產(chǎn)。
半導體生產(chǎn)制造設備種類較多,設備供應商也眾多,他們很多與半導體生產(chǎn)制造廠商是不同廠商,因此,這些設備與制造廠商之間就必須要遵循一定的標準。例如在生產(chǎn)的控制和管理過程,都要遵循一套半導體行業(yè)規(guī)范,其中就包括了半導體生產(chǎn)設備與管控系統(tǒng)的通信標準,也就是SECS/GEM協(xié)議。它規(guī)定了在二者之間通信的統(tǒng)一規(guī)范,包括通信雙方的連接參數(shù)配置,支持的通信功能,通信消息的格式,生產(chǎn)關鍵步驟的數(shù)據(jù)、狀態(tài),生產(chǎn)報警信息,產(chǎn)量和統(tǒng)計數(shù)據(jù),控制信號的收發(fā)等一系列內(nèi)容。
在這樣的背景下,就要求設備廠商需要有對應的解決方案來使產(chǎn)品支持SECS/GEM協(xié)議通信。國內(nèi)的半導體設備廠商面臨的選擇,通常就是選用支持SECS/GEM的硬件PLC,或者自行組建研發(fā)團隊嘗試通過軟件來實現(xiàn)SECS/GEM協(xié)議,前者成本高且品牌受限,后者開發(fā)和維護人力成本高企且開發(fā)周期長、存在開發(fā)失敗風險,并且功能的穩(wěn)定性待考驗等。
最近國產(chǎn)SCADA軟件開發(fā)商北京九思易自動化軟件有限公司,在SCADA軟件中成功實現(xiàn)了SECS/GEM協(xié)議,在半導體設備的原有PLC(不限品牌)與工廠上層系統(tǒng)之間架設起了一條SECS/GEM的橋梁,也開創(chuàng)了國產(chǎn)自主SCADA軟件對半導體專業(yè)協(xié)議的深入支持。易控軟件通過20年來的市場應用積累,實現(xiàn)了對幾十種品牌型號PLC的通信支持,借此半導體生產(chǎn)制造設備廠商可以將易控搭載在任何生產(chǎn)設備上實現(xiàn)數(shù)據(jù)接入,再通過易控的SECS/GEM協(xié)議接口,與工廠的上層系統(tǒng)之間實現(xiàn)標準數(shù)據(jù)和自定義功能的通信與集成,從而使設備提供商專注于打造滿足終端生產(chǎn)制造工廠功能需求的設備,又能方便融入半導體工廠自動化管理。選用支持SECS/GEM協(xié)議的SCADA軟件不失為設備生產(chǎn)廠商和終端生產(chǎn)制造企業(yè)面向未來降低成本、減少風險的一種明智之選。
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