一種新型薄膜壓磁電感式壓力傳感器的研究
2011/7/5 20:29:00
目前,在壓力檢測中廣泛應(yīng)用的厚膜壓阻式壓力傳感器, 具有體積小, 精度高, 工作可靠等優(yōu)點。但不足的是,這種傳感器制造工藝復(fù)雜,低壓檢測時非線性誤差大,溫度穩(wěn)定性差。
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